1)根据工艺要求确定洁净室的洁净度等级，选择气流流型，并决定采用全室空气净化还是局部空气净化。相对来说，非单向流和局部空气净化投资较小，应尽量避免采用全室空气净化。设置空气净化范围的原则：
a.全室空气净化是采用集中净化空调系统在整个房间内造成具有相同洁净度环境的净化处理方式，这种方式适用于工艺设备高大，数量多，且室内要求相同洁净度的场所。全室空气净化投资大、运行管理复杂、建设周期长，因此采用时必须谨慎，应尽量避免采用。
b.局部空气净化是采用净化空调器或局部净化设备（如洁净工作台、棚式垂直层流单元、层流罩等），在一般空调环境中造成局部区域具有一定洁净度环境的净化处理方式。这种方式适用于生产批量较小或利用原有厂房进行技术改造的场合。
c.采用全室净化与局部净化相结合的净化处理方式，既能保证室内具有一定洁净度，又能在局部区域实现高洁净度环境，从而达到满足生产对高洁净度环境的要求和节约能源的双重目的。
2）计算新风量，取下列两项中的大者：
a.补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
b.保证供给洁净室内的新鲜空气量不小于40m3/（h•人）。
3）计算洁净室的冷、热和湿负荷。
4）计算新风量，取下列三项中的最大值：
a.为保证空气洁净度等级的送风量。
b.根据冷、热和湿负荷计算确定的送风量。
c.想洁净室内供给的新风量。
5）根据送风量、冷热负荷和选择的气流组织形式，计算气流组织参数。
6）确定空气加热、冷却、加湿、减湿等处理方案及回风方式（一次或二次回风）。
7）根据工艺要求或气流组织计算时确定的送风温差及室内外计算参数，在i-d图上确定各状态点，计算空调器处理排风量及洁净室循环风量。
8）计算总的冷、热负荷，选择空气处理设备。
9）校核洁净室内的微粒浓度和细菌浓度。
