净化无尘车间正压送风量的设定直接影响运行成本
净化无尘车间正压送风量如何计算（漏风量计算）
无尘车间正压送风量就是在保证送风正压的基础上等于各种漏风量之和。
一个密闭良好的无尘车间，在使用过程中，主要的漏风途径有以下四种：
1）门窗缝隙的漏风；
2）开门时的漏风；
3）风淋室、传递室的漏风；
4）室内工艺排风。
下面介绍各种漏风量计算方法：
1 缝隙漏风量的计算
方式一：v=1.29*(△P)1/2
△V=S*v
△P：无尘车间内外压力差（Pa）
v：从缝隙处流过的风速(m/s)
S：缝隙面积（m2）
V：通过缝隙的泄漏风量（m3/h）
例：假设条件：房间正压20pa，门缝长度3.6m，窗缝长度 4m，假设缝隙宽度0.02m
门缝隙面积S1=0.02*3.6=0.072m2，窗缝隙面积S2=0.02*4=0.08m2
泄漏风量V=s*v=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2=(0.072+0.08)*3600*1.29*(20) 1/2=3157m3/hr
方法二： L=0.827×A×△P)1/2×1.25=1.03375×A×△P)1/2 （压差法计算方式）
式中 L—正压漏风量(m3/s)； 0.827—漏风系数；
A—总有效漏风面积(m2)；
ΔP—压力差(Pa)；
1.25—不严密处附加系数
2 开门的泄漏风量
假设条件：房间正压ΔP=20Pa，门面积S=0.9*2.00=1.8m2，风速v=1.29*(△P)1/2=5.77m/s, 开启次数n=1次/hr，开启时间t=5s
泄漏风量Q=S*v*t*n=1.8*5.77*5*1*=51.93m3/h
每小时开一次门，开5秒，泄漏空气量51.93 m3/h
3 风淋室与传递窗的空气泄漏量
假设条件：风淋室体积15m3，密闭无缝隙
开闭顺序为(1)开→ (1)关→ (2)开→ (2)关
分析：以风淋室为例
(1)开时A/S内压力为常压101325Pa
(1)关时A/S内压力为常压101325Pa，保持不变
(2)开时A/S内压力为常压101325Pa，保持不变，但稳定后压力变为与房间内同样压力101325+20pa
(2)关时A/S内压力为常压101325+20Pa,保持不变
结论：所以需要补充的空气量为15m3的空间压力变化为20Pa时的密闭空间的补气量
根据理想气体方程式 PV=mRT，（P气压，单位Pa；V体积，单位m3；m气体质量单位kg；R气体常数等于287；T气体开氏温度，单位K， 假设室内温度25℃，开氏温度为298K）
需补充空气质量m=（△P *V）/（R*T）= (20*15)/(287*298)=0.0035kg=3L
相对来说风淋室及传递箱的泄漏量较小（密闭良好的情况下），可忽略不计。
4 工艺排风泄漏风量
工艺排风泄漏风量即为工艺排风量。
以上四种泄漏风量之和即为房间维持正压所需的送风量。
例，无尘车间要求正压为20Pa，无尘车间体积为100m3，无尘车间是有外窗、密闭性较好的无尘车间（表中第二列），那么此无尘车间维持正压所需的送风量V=换气次数2.5*100m3=250m3(不包括工艺排风)
为什么有时不能达到理想正压？
1、新风补充量不足：重新计算新风需求量
2、泄漏量过大：找出泄漏原因，寻出解决方案
3、排风量太大：主要是工艺排风量超标，重新计算
4、空调回风量太大：重新调节风量
简单计算法的应用实例—在无尘车间建造中为投资方节约能源
合理的正压值对无尘车间各项指标的达标及降低运行成本是非常重要的。
半导体厂工程设备用电约占全厂用电的49％，冷动机用电占工程设备用电的35％，无尘车间空气处理机组用电占工程设备用电的23％。无尘车间正压设定值越大，空气处理机组送风量越大，冷动机负荷越高，降低电力的耗用，即减少资源的消耗与污染源的制造。所以基于以上分析可知无尘车间内的正压设定直接关系到厂区运行成本。
